WATLOW Vietnam,Semiconductor Application- Ứng dụng thiết bị gia nhiệt Watlow cho ngành bán dẫn

Semiconductor Application Watlow

Semiconductor Application- Ứng dụng thiết bị gia nhiệt Watlow cho ngành bán dẫn

Watlow có nhiều loại sản phẩm và dịch vụ để cải thiện hiệu suất xử lý lát bán dẫn (wafer) từ buồng xử lý đến hệ thống hủy bỏ. Các giải pháp sáng tạo của Watlow tập trung vào thiết bị gia nhiệt, cảm biến nhiệt độ, thiết bị điện tử và điều khiển, các cụm ngoại quan chính xác và làm sạch và tân trang. Watlow có thể cung cấp các dịch vụ sản phẩm tiêu chuẩn hoặc phát triển các giải pháp hệ thống tích hợp tùy chỉnh.

Layered Heaters – Thiết bị gia nhiệt phân lớp

Thiết bị gia nhiệt phân lớp của Watlow cung cấp độ chính xác và tính linh hoạt cần thiết để đảm bảo hiệu suất nhiệt ở mức cao nhất trong các ứng dụng xử lý lát bán dẫn – wafer.

Bonding and Integrated Systems- Hệ thống liên kết và tích hợp

Watlow cung cấp khả năng liên kết đàn hồi và tích hợp lắp ráp chính xác cho các thành phần quan trọng trong các công cụ xử lý wafer.

Gas Delivery Systems & Exhaust Systems- Hệ thống phân phối khí & Hệ thống xả Khí

Hệ thống phân phối khí của Watlow cung cấp độ tin cậy và đồng nhất nhiệt độ trong các ứng dụng phức tạp. Watlow cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác để quản lý khí trong quá trình, chẩn đoán để phát hiện lỗi, gia nhiệt tại điểm sử dụng, khả năng nhiệt độ cao và tối thiểu đến không có khí thoát ra ngoài.

Watlow ASSURANT cloth-type heaters – Thiết bị gia nhiệt loại vải ASSURANT
Watlow Silicone rubber heaters – Thiết bị gia nhiệt loại cao su silicon
Watlow FLUENT™ in-line heater – – Thiết bị gia nhiệt nội tuyến FLUENT

High Performance Metal Sheath Heaters – Thiết bị gia nhiệt vỏ bọc kim loại hiệu suất cao

Thiết bị gia nhiệt kim loại hiệu suất cao đủ linh hoạt để sử dụng trong nhiều bộ phận của dụng cụ bán dẫn như thành buồng, nắp và bệ. Watlow cung cấp thiết bị gia nhiệt kiểu hộp mực – cartridge, hình ống và cáp mang lại sự đồng nhất nhiệt độ đặc biệt với tính linh hoạt được tích hợp vào các hình dạng, tính năng và kích thước khác nhau. Watlow có thể thiết kế các bộ gia nhiệt này thành các cụm tùy chỉnh và đáp ứng nhiều điều kiện môi trường khó khăn như độ ẩm và độ sạch.

1/8″ FIREROD® Watlow Cartridge Heater
1/4″ FIREROD® Watlow Cartridge Heater
3/8″ FIREROD® Watlow Cartridge Heater
5/8″ FIREROD® Watlow Cartridge Heater
1/2″ FIREROD® Watlow Cartridge Heater
3/4″ FIREROD® Watlow Cartridge Heater
High-Temperature FIREROD® Watlow Cartridge Heaters
Metric FIREROD Metric Watlow Cartridge Heaters
MULTICELL™ Insertion Heaters
FIREBAR® Single/Double-Ended Heaters
High-Temperature Tubular Heater
WATROD milled groove heaters
MULTICOIL heater tubular
WATROD™ Tubular Heater
FINBAR™ Single- Ended Heater
Watlow coil/cable heater

Sensors, Electronics and Controls – Cảm biến , thiết bị điện tử và điều khiển

Watlow thermocouples – Cặp nhiệt điện : EXACTSENSE, Mineral Insulated Thermocouples, Tube and Wire Thermocouples, High-Temperature Thermocouples, MICROCOIL™ Thermocouples, Multipoint Thermocouples, Watlow TR thermocouple probe- Radio Frequency Thermocouple, Watlow true surface thermocouple (TST)
Watlow’s family of EZ-ZONE® controllers – Bộ điều khiển